euv光刻机是整合了很多国家的技术和硬件集合而成。

目前唯一能制造euv光刻机的是荷兰阿斯麦尔公司，该型光刻机大约十万零部件，据统计共有40个国家参与了euv光刻机的设计及制造。从阿斯麦尔公布的供应商来看，前17大供应商主要集中在欧盟，美国，日本以及湾，其中美国占了9家，湾占了4家，日本占了3家，德国占了一家。所以光刻机是人类尖端科技的集合，不是谁单独研究制造的。