多晶硅主要通过改良西门子法和硅烷法生产。西门子法通过气相沉积方式生产柱状多晶硅，在前者基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。

硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗粒流化床中，使硅烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。

改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅，也可以生产太阳能级多晶硅。