光刻机跟成品率没关系。

上微28nm光刻机是大型光电设备，设备是不讲成品率的，出厂合格就是100%的成品合格。你说的成品率指的是芯片的成品率也就是芯片的良品率，就是说一块晶圆内最大可加工芯片数量和合格芯片数量的比值，这个和工艺制程以及光刻技术的熟练度有关，同样是用28nm光刻机，不同水平的芯片制造商成品率是不同的。但总而言之，上微28nm光刻机和成品率无关。