应该是华虹半导体、长江存储等公司在用

上海微电子的90纳米光刻机是该公司唯一制程的量产产品。上海微电子则是国内光刻机制造技术最先进的厂商。根据上海微电子持续中标重大项目来看，采购客户涵盖长江存储、华虹半导体、中芯国际、京东方、华星光电等国内一线高科技大厂。像华虹半导体是做ic卡芯片的，使用低端90纳米光刻机完全够用，长江存储对制程要求也不高，使用上海微电子90纳米光刻机也够用了。