原子荧光光谱仪利用氢化物发生-原子荧光光谱法(HG-AFS)，目前可测定As、Sb、Bi、Hg、Ge、Pb、Sn、Se、Te、Zn、Cd和Cu12种元素，检出限可达ppb级别，就实际应用来说目前国标法多用来检测砷、汞、硒等元素，原子荧光光谱仪是国内具有自主知识产权的一款仪器，目前只有国内制定相关标准，国外测砷、汞、硒直接用ICP-MS，不认可原子荧光光谱仪。