有毒。一甲基三氯硅烷，是一种生产各种有机硅化合物，是生产防水剂、气相法白炭黑、甲基硅树脂和聚硅氧烷的主要原料。易挥发，在常温下极易挥发，遇水易生成盐酸和白色粉末状物质。加热易分解，生成氯化氢。氯甲烷与硅粉在氯化亚铜催化剂存在下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，经精馏提纯得产品二甲基二氯硅烷，再用减压精馏的方法分离提纯。