元素总量是指：元素以多种形式存在，总和就是总量。随原子序数增加，元素及其化合物性质呈周期性变化。XRF荧光光谱取样面积大，一般来说是近似整个材料中的含量。

EDS的用途主要是区分固体内部微观尺度不同结构的成分差异，单个像素，纵向可探测材料表面以下几个微米深度区域的平均成分，横向与探测深度相当。