工艺流程图是用来表达化工生产工艺流程的设计文件。其主要包括方案流程图， 物料流程图，施工流程图（带控制点的工艺流程图）。

方案流程图，表达物料从原料到成品或半成品的工艺过程，及所使用的设备和机器。

用于设计开始时的工艺方案的讨论，也可作为施工流程图的设计基础。

物料流程图，物料流程图是在方案流程图的基础上，用图形与表格相结合的形式，反映设计中物料衡算和热量衡算结果的图样。

施工流程图（带控制点的工艺流程图）是设计、绘制设备布置图和管道布置图的基础，又是施工安装和生产操作时的主要参考依据。