大致是28纳米。

尼康光刻机是第四代duv光刻机，在上世纪九十年代，尼康和佳能才是全球光刻机霸主，当时根本就没有ASML什么事，只是后来包括尼康和佳能都陷入了157纳米光刻机技术困境当中。目前日本的佳能和尼康光刻机是第四代duv光刻机，尼康的水平是生产浸入式光刻机，标称精度是28nm，经多重曝光，一般最多也只用于14nm。