65纳米光刻机属于中低端水平。

高端光刻机通常就是荷兰阿斯麦尔公司生产的euv极紫外光光刻机了。这个是13.5纳米光源，这是用于制造高端手机芯片的设备。再低端点的一般用195纳米光源通过技术能达到14纳米，这个通常是生产电脑cpu的，其他28纳米55纳米90纳米甚至更大，生产不需要考虑空间的芯片，也是产量最大的。