上微光刻机就是上海微电子。没有达到上市要求，所以不上市。

上海微电子是国内唯一一家制造光刻机的企业，是全球四家制造光刻机的企业之一，但上海微电子并没有上市。上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。