日本之所以有光刻机是因为日本原本也是半导体制造业大国，八九十年代就已经是光刻机生产大国，目前也是能制造光刻机的三个国家之一。
目前日本全球有三个国家的四家公司能生产光刻机，分别是荷兰阿斯麦尔、中国上海微电子、日本尼康和佳能。
在80年代，全球光刻机制造行业几乎是日系企业的天下，尤其是日本尼康，曾一度独占行业50%以上的份额，包括IBM、英特尔、德州仪器在内的GCA大客户，无一不争相抢购尼康的光刻机。然而，在2020年中低端领域，佳能光刻机销量122台，占比30%，而尼康销售的光刻机占比仅剩8%，虽然佳能、尼康仍然算是全球光刻机巨头，但与荷兰ASML相差甚远。之所以没落一个是因为美国打压日本半导体产业，另一个是因为当初日本没走通157纳米干法光刻技术，而阿斯麦尔走通了193纳米湿法光刻技术，棋差一招。
