不是三星自己的。

目前全球只有四家光刻机制造商，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。而拥有光刻机最多的是台积电、三星、英特尔，这三家占市场份额的绝大多数。其中三星的光刻机是采购荷兰阿斯麦尔的，大部分是duv光刻机，还有少量的euv光刻机。三星没能力制造光刻机，只是作为代工厂为高通等公司代工芯片。