纳米半导体材料是将硅、砷化镓等半导体材料制成的纳米材料，具有许多优异性能。例如，纳米半导体材料中的量子隧道效应使某些半导体材料的电子输运反常、导电率降低，电导热系数也随颗粒尺寸的减小而下降，甚至出现负值。这些特性在大规模集成电路器件、光电器件等领域发挥重要的作用。