evu和dvu光刻机区别就是光源波长不同。

首先得说不是evu和dvu，而是euv光刻机和duv光刻机。它们最大的区别就是使用光源的波长不同，euv的极紫外光光源是激光轰击锡滴产生的。euv就是极紫外光光源的光刻机，光源波长为13.5纳米。duv是深紫外光光源的光刻机，光源波长193纳米。根据光源标准来说，euv属于目前最先进的第五代光刻机，而duv属于第四代中端光刻机。