主要是光源波长不同。
首先要说不是duc、euc，而是duv、euv光刻机。两者最主要的区别就是光源波长不同，duv光刻机采用的是193纳米深紫外光光源，而euv光刻机采用的是13.5纳米的极紫外光光源，两者产生的机理也不同，euv光源更复杂，目前只有美国一家公司能商业量产。
duc和euc光刻机的区别
原创 | 2022-10-04 14:36:52 |浏览：1.6万
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