1907年，在徐世昌的推动下，东三省设省，废除旗民分治制度，采用一元化的民政统治手段。三省各设一名巡抚，徐世昌为三省总督。从1850年到1910年，东北人口由290万人增长为2100多万人，60年间净增人口1800多万人。

清政府出于适应变化，筹措粮饷，加强边防的需要，逐步放开了封禁，并在民人聚集之地大批量设置府、厅、州、县，构成了东北设省了基层建制基础