7nm光刻机也是可以生产5nm芯片的，光刻机其实不是按照某一个制程宽度来区分的，严格意义上讲，它是在有一段范围内进行区分的。

14nm以下的芯片都需要用到极紫外光刻机，而只有荷兰的ASML可以量产这种光刻设备。其中，最新的NXE：3400B/C这两款机型都是可以同时生产7nm和5nm制程芯片的。