国产光刻机,3年前就达到了90nm,是可以生产28纳米制程芯片,正在大量递增地使用中。ASML的也是这样的,是行业常识。估计还有2年,也就是2022年夏天,国产的28nm DUV光刻机能研发出来,就能制造7nm的芯片了。但,能做到稳定量产,可能还需再等到,2025年初。