奥普光电本身不弄光刻机，大股东旗下国望光学核心团队成员全部来自于我国唯一一家超精密光学系统产业化技术研发单位-长春国科精密光学技术有限公司（国望光学对其全资收购工作将于年内完成）。
团队研发的我国首套90nm节点ArF投影光刻机曝光光学系统已于2016年顺利交付用户，此项成果标志我国超精密光学技术已全面形成并跻身国际先进行列
奥普光电光刻机什么水平
原创 | 2022-10-01 22:40:11 |浏览：1.6万
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