一， 测试原理: 当四根金属探针排成一条直线， 并以一定压力压在半导体材料上时， 在。

1， 4 两根探针间通过电流 I， 则。

2

探针间产生电位差 V . 根据公式可计算出材料的电阻率: 其中， C为四探针的探针系数(cm) ， 它的大小取决于四根探针的排列方法和针距.