光学晶圆也称为晶圆玻璃，晶圆级光学元件是利用半导体工艺在基片晶圆上产生微纳结构而制成的微纳光学元件。

先进的工艺意味着更复杂的图案，而复杂的图案也需要更精细的缺陷检测技术。从紫外光(UV)到深紫外光(DUV)，暗场(dark field)到亮场(bright field)，光学晶圆检测技术一直在半导体工艺的发展向前推进。在工艺研发，生产良率的提升，直至量产监测的一整套产品生命周期中，均起着不可替代的作用。