芯片蚀刻机的主要作用就是将光刻机光刻好的芯片电路图进行逐一雕刻，并且每一步微观细节都不能够出错，尤其是要在指甲盖大小的芯片能上，集成上百个晶体管，可见其芯片蚀刻机的雕刻技术难度之高。

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类。在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。