全世界高端光刻机也就一百台左右。

一台ASML的EUV光刻机，有超过90%的技术都是来自各国最顶尖的技术，比如镜头是德国蔡司的，激光器是来自美国的，还有海力士、台积电、三星等公司的众多专利融为一体，所以称作人类集体智慧的产物也并不为过。

因此EUV光刻机的生产难度也非常高，产能十分有限。据悉到2020年底，ASML累计的EUV光刻机出货量仅有100台，这个数量确实让人觉得有些不可思议。

因为生产难度极高、体积巨大、零件众多等原因，EUV光刻机的价格也是相当的昂贵，一台光刻机的价格就高达1.48亿欧元，折合人民币约11.7亿。但即便如此，依然被三星、台积电等公司抢着买。