东方晶源不制造光刻机。

东方晶源并不是制造光刻机的企业，也不是使用光刻机代工的企业。东方晶源是为芯片制造工厂提供技术服务的。比如东方晶源旗下电子束缺陷检测产品（EBI），应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像，以提高良品率。比如（OPC）技术，可以对光刻制程精确建模，优化工艺窗口，确保良品率。制造关键尺寸检测设备（CD-SEM），通过电子束显微图像进行关键尺寸测量。