中国有实力研制光刻机的是上海微电子。

上海微电子装备有限公司主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务，公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。目前量产光刻机为90纳米，正在研发制造28纳米光刻机，预计年底前能出成品机器。