3nm是极限，一个铜原子的直径就是2个多纳米。

首先我们要知道我们平常所说的几NM芯片是代表芯片里导线的宽度。因为导线越窄，那么在单位面积上能集成的元器件越多，所以我们用多少纳米来反应芯片的先进程度。而现在的芯片是用铜基带，也就是用铜做为芯片内导线。而一个铜原子的直径就是2个多纳米。所以光刻机只能到3纳米。如果要突破3纳米，那就只有放弃现有的基带系统，选用直径更小的元素。