中国。

近日中微半导体公司尹志尧宣称：“国产5nm蚀刻机已经问世，中微半导体作为全球唯一一家可生产5nm蚀刻机的设备供应商，已与台积电签订了合作合同”。并且在召开了2019业绩说明会也正式说明：

公司的等离子体刻蚀设备已应用在国内外知名厂商 55 纳米到 5 纳米的众多芯片生产线上；特别是中微的电容性 CCP 等离子体刻蚀设备，已在国际领先的晶圆生产线核准 5 纳米的若干关键步骤的加工

可想而知，目前具备5nm芯片生产能力的只有台积电，也就是说，中微的5nm蚀刻机已经供应台积电使用了。该蚀刻机的诞生，也见证了我国在芯片制程设备上的发展已经达到世界领先水平，虽然我们没有EUV光刻设备的制作能力，但是在蚀刻机上面，我国已成为世界首例，在芯片生产制程设备中又重新获得了话语权。