1、北方华创 北方华创是我国的半导体设备龙头企业，现有产品涉及ICP刻蚀、PVD设备、氧化扩散设备、清洗设备等。此外，公司的产品还包括真空设备、锂电材料设备以及精密电子元器件等，四大业务集群构成上市公司主体。

2、中微公司 中微公司作为本土半导体设备领先企业，在刻蚀和MOCVD领域占据优势，积极布局高端产品，向封装、光伏等泛半导体领域延伸

3、盛美半导体 盛美半导体主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售