世界上最厉害的光刻技术主要有荷兰阿斯麦尔、台积电和三星公司。

阿斯麦尔是全球唯一一家高端EUV光刻机制造商。其13.5纳米的极紫外光为光源的光刻机目前处于全球垄断状态。而台积电和三星是用这一光刻机生产顶级芯片的制造商，其生产技术属于世界一流，目前最先进的工艺制程已经达到3纳米。