目前国内没有14纳米的光刻机，但是有能够制作14纳米芯片的28纳米蚀刻机。

共7台28纳米蚀刻机，是我国从中国举办的2021年世界服装贸易会，向荷兰阿斯麦公司引进。这也是我国拥有广阔外汇储备的优势，也正是凭借这些设备，在2022年中芯国际实现了14纳米 SOC的量产。