进口荷兰ASML公司的。

中芯国际14纳米光刻机不是国产的。而是进口ASML公司的DUV光刻机。据报道称这条14纳米制程工艺的生产线在2019年第三季度实现了量产，之后中芯国际南方厂将还建成两条月产能均为3.5万片的先进集成电路生产线。

有消息称中芯国际14nm的良率高达95%，已追平台积电同等工艺。

分析人士认为中芯国际状态回到被美拉黑前，基本可以完成产能扩张。