国产光刻机没有22纳米的。

国产光刻机目前并没有22纳米的。目前国内唯一能够制造光刻机的公司是上海微电子,也是全球四家能够制造光刻机的公司之一。上海微电子目前能量产的光刻机是90纳米干式光刻机,而技术上已经可以28纳米光刻机,目前处于待量产阶段,但并不能制造22纳米光刻机。