超大口径光学原件是光刻机的主要零部件。

作为全球最精密科技结晶的euv光刻机来说，其镜头组的重要性不言而喻。光刻机核心零部件的镜头和光源都是来源于欧美国家，其中镜头来德国蔡司，光源美国的cymer。德国蔡司是全球顶级光学镜片的制造商。光刻机镜头的最大难度不在设计，而在于工艺的实现。由于在极紫外波段下光学材料已经无法折射光线，传统的透射式光学元件无法发挥作用，需要用到多层膜反射镜，要求的是高精度与大口径。镜片的高精度要求高质量熔炼，但熔炼中降应力、提纯度、去气泡条纹这些加工过程本身就难以控制。镜面的大口径则给量测与装配工艺以极大挑战。