主要是有美国、德国、日本的技术。

阿斯麦尔光刻机主要是是集中了四十几个国家的技术和资金合作研制的,核心零部件的镜头和光源都是来源于欧美国家,其中镜头来德国蔡司,光源美国的cymer。另外中国台湾有4家企业是ASML的主要供应商之一,比如信邦电子为ASML提供线材,公准精密提供零组件,光罩股份和家登精密为ASML提供紫外光光照盒等。ASML公布的供应商来看,前17大供应商主要集中在欧盟,美国,日本以及湾,其中美国占了9家,湾占了4家,日本占了3家,德国占了一家。