EUV工艺是利用极紫外光刻机对晶元进行曝光的芯片制造工艺，目前利用这种工艺生产的工艺都是7纳米以下的芯片，比如麒麟990，麒麟9000，高通865，高通888，高通870，联发科p1000，p1200等。